

金融界2025年5月5日消息,国家知识产权局信息显示,上海新昇半导体科技有限公司申请一项名为“重掺杂P型硅片BMD的量测方法、获取硅片生长BMD热处理最优条件的方法、系统及计算机可读介质”的专利,公开号CN119915773A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种重掺杂P型硅片BMD的量测方法、获取硅片生长BMD热处理最优条件的方法、系统及计算机可读介质,属于半导体领域。该重掺杂P型硅片BMD的量测方法包括提供若干重掺杂P型硅片,将所述硅片在有氧条件下进行两段热处理,包括于第一设定温度下热处理第一设定时间,并随后以设定的升温速率加热至第二设定温度,于第二设定温度条件下,加热处理第二设定时间,以在所述硅片生长BMD。将生长有BMD的硅片清洗处理。对硅片进行量测,获取所述硅片BMD的密度和大小。本发明通过对硅片能够形成最大BMD密度进行一个相对准确的定量,以评估重掺杂P型硅片的特性,对后道加工工艺具有指导性意义。
天眼查资料显示,上海新昇半导体科技有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本238000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新昇半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2037次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息693条,此外企业还拥有行政许可217个。
本文源自:金融界
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